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Hope儀器S49 32/MT 質量流量計

Hope儀器S49 32/MT 質量流量計

簡要描述:

Hope儀器S49 32/MT 質量流量計
耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬,氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

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Hope儀器S49 32/MT 質量流量計

  1. 特點及主要應用領域

  2. 氣體質量流量控制器(流量計)Mass gas flow controller(meter)縮寫為MFC(MFM))是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。

S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)特點:

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬,氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

☆主體采用不銹鋼(316L)結構,氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定可靠。

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示,使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。

☆配合MT-60 系列流量積算儀,可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。

S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)主要應用領域:

半導體制造行業的氣體流量控制;

分析儀器設備的氣體計量與控制;

各種形式的真空鍍膜設備;

環境檢測與分析設備;

化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業氣體流量檢測和控制;

特種材料表面處理裝置與燃燒控制;

混氣配氣系統和泄露探測系統等。

2. S49系列質量流量控制器(流量計)型號

S49 32/MT 系列質量流量控制器(流量計),S49為質量流量控制器(流量計)產品,32/MT為本公司此產品設計序列號。

質量流量計用于對氣體的質量流量精確測量計量;

質量流量控制器(流量計)不但具有質量流量計的測量計量功能,還具有自動控制氣體的質量流量功能。

型式批準證書:2011F215-11

執行Q/CYHMT001-2011企業標準

許可證編號:京制01050063號

3.主要技術指標

質量流量控制器(流量計)流量出廠通常用氮氣(N2)標定。

質量流量單位為:mL/min(毫升/分鐘);(SCCM行業標準)

L/min (升/分鐘)。  (SLM行業標準)

標準狀態為:溫度----273.15K(0℃);

           氣壓----101325Pa(760mmHg)

F.S(Full Scale):表示滿量程值

Hope儀器S49 32/MT 質量流量計

表1 S49 32/MT質量流量控制器(流量計)技術指標

編號

項目

S49 32/MT

1

流量規格

(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min

(1,2,3,5,10)L/min

2

調節閥類型

電磁調節閥

3

調節閥靜止狀態

常閉

4

準確度

±1.5%F.S

5

線性

±1.5%F.S

6

重復精度

±0.2%F.S

7

響應時間

8秒(T95)

8

工作壓差范圍

50~300kPa;   (100300kPa(10L/min)

9

耐壓

3MPa;           10MPa

10

工作環境溫度

(5~45)℃

11

材料

不銹鋼316L

12

標準密封材料

Viton?,    EPDM,  或其他由用戶zhi定

13

漏率

1×10-8Pa.m3/s

14

接頭

Φ6mm~Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR?;蚱渌捎脩魖hi定

15

輸入輸出信號

(0~+5.00)V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA)

16

供電電源

±15V(±5%)(+15V  50mA,  -15V  200mA)

17

外形尺寸mm

130(寬)×102(高)×28(厚)

18

重量kg

0.8

 

 

 

 

 

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